ペリクル
ペリクルとは、フォトマスクの防塵保護フィルムである
ペリクルを使用することにより、液晶パネル生産ラインの天敵である異物を防ぐことができる
フォトマスクは、液晶パネル製造での露光工程に使われるものであり、異物などが付着していると、正確なパターンを形成することができない
歩留まり向上のためにもペリクルは重要な役割を担っている
旭化成エレクトロニクス社が液晶パネル向け大型ペリクルでは95%以上の世界シェアがある
また同社は第10世代にも対応する大型ペリクル製造ラインを新設するため宮崎県延岡市で2007年秋より新工場の工事が開始される
ペリクルを使用することにより、液晶パネル生産ラインの天敵である異物を防ぐことができる
フォトマスクは、液晶パネル製造での露光工程に使われるものであり、異物などが付着していると、正確なパターンを形成することができない
歩留まり向上のためにもペリクルは重要な役割を担っている
旭化成エレクトロニクス社が液晶パネル向け大型ペリクルでは95%以上の世界シェアがある
また同社は第10世代にも対応する大型ペリクル製造ラインを新設するため宮崎県延岡市で2007年秋より新工場の工事が開始される
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