HEPAフィルター
HEPAフィルターとは、クリーンルームなどで使用されるフィルターであり、塵埃を取り除き清浄な空気にするため使用されるものである
JISによると
「0.3μmの粒子に対して99.97％以上の粒子捕集率をもち、かつ初期圧力損失が245Pa以下の性能を持つエアフィルタ」
であり、0.3μmの塵が1万個あってもHEPAフィルターを通ることにより塵が3個程度まで少なくなるものだと規定されています
また上位には、ULPAフィルター（ウルパフィルター）があり、
これは0.15μmの粒子に対して99.9995％以上の粒子捕集率を規定しているものである。
JISによると
「0.3μmの粒子に対して99.97％以上の粒子捕集率をもち、かつ初期圧力損失が245Pa以下の性能を持つエアフィルタ」
であり、0.3μmの塵が1万個あってもHEPAフィルターを通ることにより塵が3個程度まで少なくなるものだと規定されています
また上位には、ULPAフィルター（ウルパフィルター）があり、
これは0.15μmの粒子に対して99.9995％以上の粒子捕集率を規定しているものである。
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