ITO(酸化インジウムスズ)
FPD業界では、透明電極として使用されている
スパッタリング方式によりガラス基板全体にITO膜を蒸着させ、露光、現像することにより電極パターンを形成するものである。
ITOという物質は、この何年かで5倍近く価格が高騰しているほどに希少な物質であることから、製造工程のロスの削減、リサイクルなどが進められていると同時に新たな代替物質であるZnO(酸化亜鉛)等の開発も進められている。ZnOでは、資源も豊富であり安価なことから各メーカー共研究開発に力を入れていることだろう。
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