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露光とは

露光とは、フォトレジスト等を塗布した基板に、光を照射することによりパターンを形成するものである

パターンが形成されたフォトマスクを用いることによって、基板にパターンを転写するものである
フォトレジストによって、光が照射された部分がパターンとして残るネガ型と光が照射されていない部分が残るポジ型に分けられる


rokou1.gif


コメント（0）| トラックバック（0）| fpd製造装置と製造技術|  2007/09/03(月) 20:46:13

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